1. Thiết bị phòng sạch (Cleanroom)
Fume hoods
Tủ hút khí độc
- Tủ hút hoá chất
- Tủ hút axit
Wet benches
Bàn quy trình ướt
- Wet bench axit
- Wet bench dung môi
Glassware
Borosilicate 3.3 – chịu nhiệt, kháng hoá chất
- Cốc 250 mL
- Cốc 500 mL
- Cốc 1000 mL
- Bình tam giác 250 mL
- Bình tam giác 500 mL
- Bình định mức 100 mL
- Bình cầu đáy tròn 250 mL
- Ống đong 100 mL
Gloves + Bunny suits
- Găng tay nitrile phòng sạch
- Bộ áo liền thân (bunny suit)
- Khẩu trang phòng sạch
- Khăn lau phòng sạch
2. Thiết bị quy trình bán dẫn
Spin coater
- Spin coater
Mask aligner
- Mask aligner
Direct laser writer
- Direct laser writer
CVD systems
- Hệ thống CVD
RIE systems
- RIE systems
Sputtering systems
- Sputtering systems
3. Đo lường & phân tích
Optical microscope
- Optical microscope
Profilometer
- Profilometer
4. Thiết bị phòng thí nghiệm
Vacuum systems
- Vacuum systems
Gas delivery systems
- Gas delivery systems
Process monitoring equipment
- Process monitoring equipment
Thiết bị gia nhiệt & tổng hợp
- Máy khuấy từ gia nhiệt
- Lò nung 1400 °C
- Autoclave thuỷ nhiệt 100 mL