Digifund - Silicon Wafer Việt NamDIGIFUND
Phòng sạch & labCleanroom & lab

Phòng Sạch Là Gì? Cấp Độ Sạch ISO Trong Sản Xuất Bán Dẫn

What Is a Cleanroom? ISO Cleanliness Classes in Semiconductor Manufacturing

Một hạt bụi vô hình cũng đủ làm hỏng cả một con chip. Đó là lý do bán dẫn được sản xuất trong phòng sạch. Bài viết giải thích cấp độ sạch ISO, cách kiểm soát nhiễm bẩn và vật tư cần thiết.

A single invisible dust particle can ruin an entire chip. That is why semiconductors are made in cleanrooms. This article explains ISO cleanliness classes, contamination control and the required consumables.

1. Phòng sạch là gì?

1. What is a cleanroom?

Phòng sạch (cleanroom) là không gian được kiểm soát nghiêm ngặt về nồng độ hạt bụi trong không khí, cùng với nhiệt độ, độ ẩm và áp suất. Không khí được lọc liên tục qua bộ lọc HEPA/ULPA để giữ số hạt bụi ở mức cực thấp — điều kiện bắt buộc để chế tạo silicon wafer và vi mạch.

A cleanroom is a space with tightly controlled airborne particle concentration, along with temperature, humidity and pressure. Air is continuously filtered through HEPA/ULPA filters to keep particle counts extremely low — a mandatory condition for fabricating silicon wafers and integrated circuits.

2. Cấp độ sạch ISO 14644

2. ISO 14644 cleanliness classes

Tiêu chuẩn ISO 14644-1 phân loại phòng sạch theo số hạt tối đa cho mỗi mét khối không khí. Số ISO càng nhỏ thì càng sạch:

The ISO 14644-1 standard classifies cleanrooms by the maximum particles per cubic meter of air. The lower the ISO number, the cleaner the room:

ISO ClassTương đương (US FED)US FED equivalentỨng dụng điển hìnhTypical use
ISO 3Class 1Quang khắc tiên tiếnAdvanced lithography
ISO 4Class 10Sản xuất chip cao cấpLeading-edge chip fab
ISO 5Class 100Bán dẫn, MEMSSemiconductors, MEMS
ISO 6Class 1,000Lắp ráp điện tửElectronics assembly
ISO 7Class 10,000Lab R&D, đóng góiR&D labs, packaging
ISO 8Class 100,000Khu vực phụ trợSupport areas

3. Kiểm soát nhiễm bẩn

3. Contamination control

Con người là nguồn phát sinh hạt bụi lớn nhất trong phòng sạch. Vì vậy quy trình kiểm soát bao gồm:

People are the largest source of particles in a cleanroom. Control measures therefore include:

  • Đồ bảo hộ: bộ áo liền thân (bunny suit), găng tay nitrile, khẩu trang, bao giày chống tĩnh điện.
  • Luồng khí: dòng khí một chiều (laminar) từ trần xuống sàn, áp suất dương.
  • Quy trình ra vào: buồng đệm (air shower), khử tĩnh điện, khăn lau ít xơ sợi.
  • Protective gear: bunny suits, nitrile gloves, face masks, anti-static shoe covers.
  • Airflow: unidirectional (laminar) flow from ceiling to floor, positive pressure.
  • Entry procedures: air showers, static discharge, low-lint wipes.
Ghi nhớ: mỗi cấp ISO khắt khe hơn đòi hỏi chi phí xây dựng và vận hành cao hơn nhiều. Việc chọn đúng cấp độ sạch cho từng công đoạn giúp cân bằng chất lượng và chi phí.
Key point: each stricter ISO class demands significantly higher construction and operating costs. Choosing the right class for each process step balances quality and cost.

Cần thiết bị & vật tư phòng sạch?

Need cleanroom equipment & consumables?

Digifund cung cấp găng tay, bunny suit, khẩu trang, khăn lau phòng sạch cùng thiết bị lab.

Digifund supplies gloves, bunny suits, masks, cleanroom wipes and laboratory equipment.

Xem thiết bị phòng sạchView cleanroom gear Liên hệ báo giáRequest a quote